充分尊重客戶,以客戶為中心營(yíng)造我們的經(jīng)營(yíng)環(huán)境,客戶的滿意是我們的追求!
南京鵬控機(jī)電設(shè)備有限公司,一個(gè)不斷追求專業(yè)化的公司 http://www.xyhgrnet.com 電話:025-58860935、85355355、58850162、58850165 傳真:025-58575593 感謝新老客戶關(guān)愛(ài)與支持!友誼、共享、感恩!
HJCシリーズ
靜電チャック用高圧電源
HJCシリーズは、靜電チャック専用として開(kāi)発された高圧電源です。DC ON/OFFによるチャックのON/OFFの他、チャックOFFの際、極性を反転させてスムーズにウエハーを剝離させることも可能です。
· 靜電チャック専用設(shè)計(jì)。
· 出力は電子スイッチで高速?gòu)甏?span lang="EN-US">(100ms)。
· 両極性出力。
· RFフィルタ?jī)?nèi)蔵(オプション)。
· リレーを使わないので高信頼、長(zhǎng)壽命。
出 力 |
モデル名 |
||
電 圧[kV] |
電 流[mA] |
リップル[%ms] |
|
±1 |
6 |
0.1 |
HJC-1B6 |
30 |
0.1 |
HJC-1B30 |
|
±2 |
3 |
0.1 |
HJC-2B3 |
15 |
0.1 |
HJC-2B15 |
|
±3 |
2 |
0.1 |
HJC-3B2 |
10 |
0.1 |
HJC-3B10 |
|
±4 |
1.5 |
0.1 |
HJC-4B1.5 |
7.5 |
0.1 |
HJC-4B7.5 |
|
±5 |
1.2 |
0.1 |
HJC-5B1.2 |
6 |
0.1 |
HJC-5B6 |
Copyright 2010-2023 www.xyhgrnet.com All Rights Reserved. 南京鵬控機(jī)電設(shè)備有限公司
地址:南京市浦口區(qū)明發(fā)濱江新城346-350棟119號(hào) 聯(lián)系電話:025-58860935、85355355、58850162、58850165 傳真:025-58575593 技術(shù)支持:13611581880@163.com
蘇ICP備12002151號(hào) 不良信息舉報(bào) 傳播文明 誠(chéng)信網(wǎng)站 網(wǎng)絡(luò)110
蘇ICP備12002151號(hào) 蘇公網(wǎng)安備 32011102010170號(hào)